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エレクトロンビームリソグラフィー
【えれくとろんびーむりそぐらふぃー】
【erekutoronbi-murisogurafi-】
电子束光刻
エレクトロンビームリソグラフィー
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电子束平版印刷术
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电子束曝光
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电子束蚀刻