プロキシミティー露光装置
【ぷろきしみてぃーろこうそうち】
【purokishimiti-rokousouchi】
接近式光刻机
プロキシミティー露光装置
【ぷろきしみてぃーろこうそうち】
【purokishimiti-rokousouchi】
接近式对准曝光器