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スパッタリング
【すぱったりんぐ】
【supattaringu】
②
【名】【英】sputtering
溅镀，溅射。形成薄膜用的技术之一。（固体の表面に電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子?分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点?低蒸気圧の元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。）
スパッタリング
【スパッタリング】
【supattaringu】
【英】sputtering
〈工艺〉喷溅，飞溅(用离子轰击固体表面加工的方法)。
スパッタリング
【スパッタリング】
【supattaringu】
溅彩；溅涂；飞溅
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